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技术参数整机规格700mm(W)×700mm(D)×1600mm(H)腔体规格260mm(W)×260mm(D)×260mm(H)腔体容积17L电极规格内置平板式电极载物方式可载物：180mm×185mm/层，共2层电源系统13.56MHz
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机台型号：MASZ-300（OL）特点：自动流水线操作，便于移动，规格可专门定制。
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主机外形尺寸：260（W）*200(H)*360(D)mm主机重量：9.5KG输入电源：AC220V,50HZ(±20%)
