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真空类等离子体处理设备

  • 产品概述

机台型号:MV90-135LML

整机规格:1420mm (W) ×1700mm (H)×1100mm (D )

腔体规格:500mm (W) ×500mm (H)×500mm (D )

电极规格:内置平板式电极,474mm×440mm (D )

载物层数:8层,层间距45mm

电源系统:固态晶体管等离子发生源

控制系统:触摸屏+PLC控制

放电真空度:20-60Pa

输入电压:380V三相50Hz

可加载气体: 氩气(Ar)、氧气(O2)、氮气(N2)、四氟化碳(CF4)、氢气(H2)、接枝气体等,可同时接通多种气体。

特点:手动/自动操作、水平式结构、精度高、响应快、良好的操控性和兼容性、完善的功能和专业的技术支持。

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