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MV24-17LRL

  • 产品概述

技术参数


整机规格

700mm(W)×700mm(D)×1600mm(H)

腔体规格

260mm(W)×260mm(D)×260mm(H)

腔体容积

17L

电极规格

内置平板式电极

载物方式

可载物:180mm×185mm/层,共2层

电源系统

13.56MHz

RF射频固态晶体管等离子发生源(0-300W可调),全自动阻抗匹配

控制系统

10"触摸屏+PLC控制

真空系统

标配:油泵,抽速6L/S

背底真空度<5Pa,工作真空度5-100Pa内连续可调

进气系统

2路工作气体、1路放空、1路接枝

适用于实验各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。


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