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MV200-900LMV

  • 产品概述

机台型号:MV200-900LMV

腔体规格:900mm(W)×1100mm(H)×900mm(D)

极间距离 :70mm

电源功率:20000W

电源系统:固态晶体管等离子体发生源

控制系统:触摸屏+PLC控制

放电真空度 :20-60Pa 

输入电压:380V三相50Hz  

可加载气体: 氩气(Ar)、氧气(O2)、氮气(N2)、四氟化碳(CF4)、氢气(H2)、接枝气体等,可同时接通多种气体。

特点:手动/自动操作、垂直式结构、精度高、响应快、良好的操控性和兼容性、非常适用于线路板等行业


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