昆山阿尔铭晟电子科技有限公司
联系人：孙先生
手机：15962677052
网站：www.ermiet-global.com
地址：昆山市千灯镇支浦路11号
机台型号：MV90-8.5LML
整机规格：700mm(W)×1600mm(H)×700mm(D)
腔体规格：8.5L
电极规格：外置环形电极
载物方式：平放/悬挂均可，单层平放尺寸，180mm×185mm
电源系统：固态晶体管等离子发生源
控制系统：触摸屏+PLC控制
放电真空度：20-60Pa
输入电压：380V三相50Hz
可加载气体： 氩气（Ar）、氧气（O2）、氮气（N2）、四氟化碳（CF4）、氢气（H2）、接枝气体等，可同时接通多种气体。
▪ 应用范围
适用于实验各种材料的表面改性处理，包括：清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。
昆山阿尔铭晟电子科技有限公司长期专注于低温等离子体（Plasma）的理论研究和工业应用，所研发的低温等离子体处理装置及工艺解决方案纤...更多>>
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