机台型号:MV90-8.5LML
整机规格:700mm(W)×1600mm(H)×700mm(D)
腔体规格:8.5L
电极规格:外置环形电极
载物方式:平放/悬挂均可,单层平放尺寸,180mm×185mm
电源系统:固态晶体管等离子发生源
控制系统:触摸屏+PLC控制
放电真空度:20-60Pa
输入电压:380V三相50Hz
可加载气体: 氩气(Ar)、氧气(O2)、氮气(N2)、四氟化碳(CF4)、氢气(H2)、接枝气体等,可同时接通多种气体。
▪ 应用范围
适用于实验各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。