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昆山阿尔铭晟电子科技有限公司
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在IC芯片制造领域中,等离子体处理技术已是一种不可替代的成熟工艺,不论在芯片源离子的注入,还是晶元的镀膜,亦或是我们的低温等离子体表面处理设备所能达到的:在晶元表面去除氧化膜、有机物、去掩膜等超净化处理及表面活化提高晶元表面浸润性。
MA-2000E
MASZ-300
MA-2000
大气类等离子体处理设备
MV200-900LMV